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Praktikum Halbleitertechnologie (MIPL_EXT)

  • Die Qualitätsansprüche an die Fertigung im Reinraum sind enorm und unterliegen stetigen Veränderungen. Mit diesem Praktikum sammeln Sie als Teilnehmer (m/w/d) wichtige Erfahrungen in der Fertigung von Wafern und den dabei angewendeten chemischen und physikalischen Verfahren. Die Ermittlung von Prozessparametern und die Herstellung eines strukturierten Oxidwafers bilden dabei Schwerpunktthemen.

Objectives

  • In der Halbleitertechnologie sind Praktika im Mikrotechnologenlabor eine Notwendigkeit um die komplexen Prozessschritte zu verstehen und Fehler zu analysieren.
Type Classroom Training with Digital Interfaces
Duration 1 day
Language de

Target Group

  • Fertigungsmitarbeiter (w/m/d) in der Waferherstellung oder vergleichbaren Aufgaben der Mikrosystemtechnik

Content

  • EHS-Unterweisung im Mikrotechnologenlabor
  • Vorversuche zur Ermittlung der Prozessparameter
  • (Belackungsreihe; Belichtungsreihe; Ätzratenbestimmung)
  • Herstellung eines strukturierten Oxidwafers
  • Auswertung der Ergebnisse
  • Feedback und Zusammenfassung der Erkenntnisse

Prerequisites

  • Interesse an Hightec- Fertigungsprozessen der Halbleitertechnologie

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